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首款Oerlikon的8英寸MEMS集群工具來到韓國
作者：美國商業(yè)資訊
來源：來源網(wǎng)絡(luò)(侵權(quán)刪)
日期：2008-08-05 08:48:14
摘要：六月份，韓國的RFID/USN基礎(chǔ)設(shè)施服務(wù)機構(gòu)u-IT Cluster Center － 提供MEMS傳感器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關(guān)的服務(wù)，服務(wù)范圍從RFID/USN產(chǎn)品的設(shè)計到測試(RFID/USN Engineering Lab) － 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同，以助于6英寸和8英寸MEMS的研發(fā)和批量生產(chǎn)。
美國商業(yè)資訊2008年7月31日列支敦士登巴札爾消息－
六月份，韓國的RFID/USN基礎(chǔ)設(shè)施服務(wù)機構(gòu)u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) － 提供MEMS傳感器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關(guān)的服務(wù)，服務(wù)范圍從RFID/USN產(chǎn)品的設(shè)計到測試(RFID/USN Engineering Lab) － 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同，以助于6英寸和8英寸MEMS的研發(fā)和批量生產(chǎn)。
借助這個決策，u-ITC正成為東北亞地區(qū)下一代晶圓加工開發(fā)的領(lǐng)導(dǎo)者之一。CLUSTERLINE?將安裝在韓國松島u-IT Cluster Center的USN Fab。
u-IT Cluster Center總裁Sang-Chul Shin先生說，“我們已經(jīng)評估了可用的晶圓生產(chǎn)設(shè)備，并對Oerlikon留下了深刻的印象”。CLUSTERLINE?得到全球主要MEMS和半導(dǎo)體制造商的一致認可，它具有出色的生產(chǎn)加工能力。不論是對于MEMS，還是UBM、BSM、TFH、IC及其它應(yīng)用，許多年來，Oerlikon已經(jīng)展示出了雄厚的技術(shù)能力和CoO領(lǐng)導(dǎo)力。
Oerlikon系統(tǒng)部門主管Andreas Dill說，“這種針對高度精密和專業(yè)應(yīng)用的大批量生產(chǎn)平臺，為制造商創(chuàng)造了許多新的機遇。我們很自豪地被選定為合作伙伴。我們已經(jīng)連續(xù)九年獲得VLSI 10最佳獎的殊榮，這證明了我們?yōu)榭蛻舫晒λ鞯呢暙I。同時，這也是對我們努力為半導(dǎo)體行業(yè)提供卓越制造和生產(chǎn)解決方案的另一種重大獎勵”。
世界上主要的半導(dǎo)體制造商都大量安裝了CLUSTERLINE? 200 II。該工具擁有一流的加工能力和靈活性，可以提升系統(tǒng)的額外定制功能。同時，開放式系統(tǒng)架構(gòu)也允許對PVD、Soft Etch和PECVD輕松地實施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?與市場中以前安裝的CLUSTERLINE工具完全兼容，同時能夠通過那些可切實提升整體性能的創(chuàng)新功能來實現(xiàn)可擴展能力。
Oerlikon – 實現(xiàn)高科技
Oerlikon（瑞士證券交易所：OERL）是世界上最成功的高科技工業(yè)集團之一，精通于機械和工廠工程。本公司是紡織品制造、薄膜太陽能電池、薄膜涂層、驅(qū)動器以及精度和真空系統(tǒng)領(lǐng)域的工業(yè)解決方案和創(chuàng)新技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。Oerlikon源于瑞士，悠久的歷史可以追溯到100年以前，全球職工超過19000名，遍布35個國家的170個地方。公司銷售額高達56億瑞士法郎，在全球市場中排名前兩位。2007年，投入的研發(fā)資金高達營業(yè)額的5%（2.74億瑞士法郎）
--30--LB/mi*
免責(zé)聲明：本公告之原文版本乃官方授權(quán)版本。譯文僅供方便了解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
聯(lián)系方式：Oerlikon Balzers Coating Ltd.
Business Unit Systems
Sven E. Jarby, Head of Marketing & Communications,
+423 388 4878
傳真：+423 388 5426
sven.jarby@oerlikon.com
www.oerlikon.com
或
公司通訊處
Burkhard Boendel, +41 58 360 96 05
傳真：+41 58 360 91 93
pr@oerlikon.com
www.oerlikon.com
六月份，韓國的RFID/USN基礎(chǔ)設(shè)施服務(wù)機構(gòu)u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) － 提供MEMS傳感器(USN Fab)和RFID/USN鑄造相關(guān)的服務(wù)，服務(wù)范圍從RFID/USN產(chǎn)品的設(shè)計到測試(RFID/USN Engineering Lab) － 簽訂了一份從Oerlikon購買CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同，以助于6英寸和8英寸MEMS的研發(fā)和批量生產(chǎn)。
借助這個決策，u-ITC正成為東北亞地區(qū)下一代晶圓加工開發(fā)的領(lǐng)導(dǎo)者之一。CLUSTERLINE?將安裝在韓國松島u-IT Cluster Center的USN Fab。
u-IT Cluster Center總裁Sang-Chul Shin先生說，“我們已經(jīng)評估了可用的晶圓生產(chǎn)設(shè)備，并對Oerlikon留下了深刻的印象”。CLUSTERLINE?得到全球主要MEMS和半導(dǎo)體制造商的一致認可，它具有出色的生產(chǎn)加工能力。不論是對于MEMS，還是UBM、BSM、TFH、IC及其它應(yīng)用，許多年來，Oerlikon已經(jīng)展示出了雄厚的技術(shù)能力和CoO領(lǐng)導(dǎo)力。
Oerlikon系統(tǒng)部門主管Andreas Dill說，“這種針對高度精密和專業(yè)應(yīng)用的大批量生產(chǎn)平臺，為制造商創(chuàng)造了許多新的機遇。我們很自豪地被選定為合作伙伴。我們已經(jīng)連續(xù)九年獲得VLSI 10最佳獎的殊榮，這證明了我們?yōu)榭蛻舫晒λ鞯呢暙I。同時，這也是對我們努力為半導(dǎo)體行業(yè)提供卓越制造和生產(chǎn)解決方案的另一種重大獎勵”。
世界上主要的半導(dǎo)體制造商都大量安裝了CLUSTERLINE? 200 II。該工具擁有一流的加工能力和靈活性，可以提升系統(tǒng)的額外定制功能。同時，開放式系統(tǒng)架構(gòu)也允許對PVD、Soft Etch和PECVD輕松地實施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?與市場中以前安裝的CLUSTERLINE工具完全兼容，同時能夠通過那些可切實提升整體性能的創(chuàng)新功能來實現(xiàn)可擴展能力。
Oerlikon – 實現(xiàn)高科技
Oerlikon（瑞士證券交易所：OERL）是世界上最成功的高科技工業(yè)集團之一，精通于機械和工廠工程。本公司是紡織品制造、薄膜太陽能電池、薄膜涂層、驅(qū)動器以及精度和真空系統(tǒng)領(lǐng)域的工業(yè)解決方案和創(chuàng)新技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。Oerlikon源于瑞士，悠久的歷史可以追溯到100年以前，全球職工超過19000名，遍布35個國家的170個地方。公司銷售額高達56億瑞士法郎，在全球市場中排名前兩位。2007年，投入的研發(fā)資金高達營業(yè)額的5%（2.74億瑞士法郎）
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免責(zé)聲明：本公告之原文版本乃官方授權(quán)版本。譯文僅供方便了解之用，煩請參照原文，原文版本乃唯一具法律效力之版本。
聯(lián)系方式：Oerlikon Balzers Coating Ltd.
Business Unit Systems
Sven E. Jarby, Head of Marketing & Communications,
+423 388 4878
傳真：+423 388 5426
sven.jarby@oerlikon.com
www.oerlikon.com
或
公司通訊處
Burkhard Boendel, +41 58 360 96 05
傳真：+41 58 360 91 93
pr@oerlikon.com
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