Cambridge NanoTech的重大里程碑：交付第三百套ALD設(shè)備

　　Marketwire 2012年3月7日美國(guó)馬薩諸塞州劍橋市消息/明通新聞專線/--

　　原子層淀積 (或原子層沉積) (ALD)科技與設(shè)備領(lǐng)域的全球領(lǐng)先企業(yè)Cambridge NanoTech完成了向中國(guó)山西煤炭化學(xué)研究所(ICC)交付第300套ALD設(shè)備的工作。這是Cambridge NanoTech的一個(gè)重大里程碑，對(duì)于需要對(duì)氧化物、氮化物、硫化物和金屬等不同物質(zhì)的成膜進(jìn)行數(shù)字化控制的研究人員和生產(chǎn)企業(yè)來(lái)說(shuō)，Cambridge NanoTech的ALD設(shè)備已經(jīng)成為一個(gè)重要的戰(zhàn)略解決方案。

　　山西煤炭化學(xué)研究所隸屬中國(guó)科學(xué)院(CAS)，是一家高科技研發(fā)機(jī)構(gòu)。Savannah設(shè)備將成為供山西煤炭化學(xué)研究所各研發(fā)部門使用的首套ALD設(shè)備。山西煤炭化學(xué)研究所煤轉(zhuǎn)化國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室教授秦勇博士(音譯)表示：“我們之所以選擇Savannah ALD設(shè)備，是因?yàn)槲覀儼l(fā)現(xiàn)該設(shè)備可以非常容易地獲得精確一致的薄膜，特別是在試驗(yàn)新型前驅(qū)物質(zhì)時(shí)更是如此。我們計(jì)劃將Savannah設(shè)備應(yīng)用于工業(yè)催化應(yīng)用中的納米催化劑原子層淀積。我們預(yù)計(jì)Savannah設(shè)備將成為我們實(shí)驗(yàn)室的主力設(shè)備，能讓我們?cè)跇O少維護(hù)甚至免維護(hù)的情況下進(jìn)行熱處理流程。”山西煤炭化學(xué)研究所將進(jìn)行二氧化鈦(TiO(2))、二氧化錫(SnO(2))、氧化礬(VO(x))、鉑(Pt)和釕(Ru)等不同物質(zhì)的加工處理。

　　Cambridge NanoTech于九年前推出了首套Savannah ALD設(shè)備，之后，又把這種全球使用最廣泛的ALD設(shè)備擴(kuò)展成了三種型號(hào)：S100型、S200型和S300型。作為ALD行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)，Cambridge NanoTech把其產(chǎn)品線拓展至包括面向研發(fā)領(lǐng)域的Fiji系列等離子體增強(qiáng)ALD設(shè)備和滿足大批量大面積生產(chǎn)需要的Phoenix系列和Tahiti系列設(shè)備。

　　Cambridge NanoTech首席執(zhí)行官、創(chuàng)始人Jill Becker表示：“這項(xiàng)技術(shù)的廣泛采用、Savannah系列設(shè)備的普及以及ALD應(yīng)用的增長(zhǎng)有助于加快日常產(chǎn)品的轉(zhuǎn)化。世界各地的采用以及后來(lái)的數(shù)千篇研究論文表明，Savannah ALD設(shè)備已經(jīng)成為熱ALD設(shè)備的黃金標(biāo)準(zhǔn)。我們的團(tuán)隊(duì)對(duì)此次設(shè)備交付感到無(wú)比自豪，因?yàn)檫@充分證明了我們系統(tǒng)的實(shí)力、ALD的多用性以及市場(chǎng)對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的需求。”

　　除了交付第300套設(shè)備的里程碑外，Cambridge NanoTech本月初還舉辦了第一場(chǎng)系列網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)，題為《什么是原子層淀積和你為什么應(yīng)當(dāng)關(guān)注?》。第一場(chǎng)系列研討會(huì)重點(diǎn)圍繞ALD基礎(chǔ)知識(shí)，全球32個(gè)國(guó)家超過(guò)275人參與了此次研討會(huì)。Becker表示：“現(xiàn)代科技大大改變了我們分享信息的方式。我們非常榮幸能夠站在社交技術(shù)的最前沿，傳授原子層淀積知識(shí)，為人們提供材料科學(xué)解決方案所需要的工具。”Cambridge NanoTech今后將要舉辦的網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)包括等離子ALD的優(yōu)勢(shì)和自組裝單分子層的生長(zhǎng)等。欲了解Cambridge NanoTech即將舉行的網(wǎng)絡(luò)研討會(huì)的更多信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)： www.cambridgenanotech.com/seminars 。

　　關(guān)于山西煤炭化學(xué)研究所

　　山西煤炭化學(xué)研究所(ICC)是中國(guó)科學(xué)院(CAS)下屬的高科技研究開(kāi)發(fā)機(jī)構(gòu)之一，主要從事能源環(huán)境、先進(jìn)材料和綠色化工三大領(lǐng)域的基礎(chǔ)與應(yīng)用研發(fā)。

　　關(guān)于Cambridge NanoTech

　　Cambridge NanoTech的原子層淀積(ALD)系統(tǒng)被廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)應(yīng)用中的超薄膜淀積。Cambridge NanoTech的面向制造業(yè)的ALD系統(tǒng)被用于半導(dǎo)體、平板顯示器和固態(tài)照明的生產(chǎn)。Cambridge NanoTech的面向研究的系統(tǒng)被世界一流科學(xué)家應(yīng)用于研究ALD薄膜的優(yōu)異特性，包括電氣、抗菌、防紫外線和增透等特性。欲了解有關(guān)Cambridge NanoTech的更多詳情，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)：www.cambridgenanotech.com 。

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