全面解讀：可讀FOUP晶圓盒的RFID半導(dǎo)體讀寫器設(shè)備的使用

隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，行業(yè)間的競(jìng)爭(zhēng)也隨之日漸激烈，加之成本上升、國(guó)外政策等問(wèn)題，減少生產(chǎn)成本、提升生產(chǎn)效率成了企業(yè)的目標(biāo)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)是一種具有高度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝，對(duì)生產(chǎn)環(huán)境、生產(chǎn)工序都有著極為嚴(yán)苛的要求，尺寸特殊且非常精密，幾乎無(wú)法手動(dòng)生產(chǎn)集成電路。而RFID技術(shù)作為物聯(lián)網(wǎng)的感知層面，是現(xiàn)實(shí)世界與虛擬世界進(jìn)行信息交換與通信的核心環(huán)節(jié)之一，實(shí)現(xiàn)智能化識(shí)別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理等。

1、FOUP晶圓盒產(chǎn)線

將科智立RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在機(jī)械手臂上，晶圓盒部署RFID載碼體。當(dāng)機(jī)械手臂開(kāi)始工作時(shí)，讀寫器自動(dòng)采集載碼體的信息，了解產(chǎn)品的種類、加工情況，并匹配到生產(chǎn)控制系統(tǒng)中相對(duì)應(yīng)的生產(chǎn)工序?qū)Ξa(chǎn)品進(jìn)行加工，跟蹤晶圓盒在加工流程中的具體位置，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)所有的晶圓加工情況。

2、FOUP晶圓盒運(yùn)輸

由機(jī)械手臂上的RFID半導(dǎo)體讀寫器識(shí)讀FOUP晶圓盒上的標(biāo)簽，獲取FOUP晶圓盒的產(chǎn)品信息，將晶圓盒放置在AGV小車上，AGV小車讀取晶圓盒上的標(biāo)簽，獲取到晶圓盒的存放地點(diǎn)并運(yùn)輸至該地，實(shí)現(xiàn)物料的自動(dòng)運(yùn)輸。

3、晶圓存儲(chǔ)柜的使用

RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在存儲(chǔ)會(huì)承載平臺(tái)支撐板的下方，當(dāng)FOUP晶圓盒進(jìn)入存儲(chǔ)柜時(shí)，半導(dǎo)體讀寫器識(shí)別RFID載碼體，判斷晶圓盒的存放信息、是否存放正確，并記錄此次存放的時(shí)間、數(shù)量、批次等信息。在必要時(shí)，可根據(jù)關(guān)鍵詞快速找到相對(duì)應(yīng)的晶圓。

科智立RFID半導(dǎo)體讀寫器設(shè)備

JY-V640

JY-V640是面向半導(dǎo)體制造業(yè)開(kāi)發(fā)的半導(dǎo)體RFID讀寫器，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議，符合世界SEMI標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司產(chǎn)的CID載體，具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性，支持外部光電開(kāi)關(guān)的IO信號(hào)觸發(fā)讀卡。

JY-V610

JY-V610半導(dǎo)體RFID讀取器小巧輕便，采用一體式設(shè)計(jì)，可靈活安裝。支持134.2kHz工作頻率，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持標(biāo)準(zhǔn)Modbus RTU協(xié)議，內(nèi)部集成射頻部分通信協(xié)議，使用操作簡(jiǎn)單，無(wú)需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。

使用效益

1、提升半導(dǎo)體行業(yè)自動(dòng)化水平；

2、有效減少人FOUP晶圓盒與人的接觸，避免灰塵堆積對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)的影響；

3、采用自動(dòng)化運(yùn)輸，簡(jiǎn)化管理，加快工作效率；

4、實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)生產(chǎn)流程、實(shí)時(shí)管理工作，實(shí)現(xiàn)效率的最大化；

5、避免人員過(guò)多的走動(dòng)造成灰塵飛揚(yáng)，大幅減少后期的維護(hù)工作。