國內(nèi)首臺8英寸PZT壓電薄膜設(shè)備落戶上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園

2021年1月19日，國內(nèi)首臺8英寸PZT壓電薄膜設(shè)備落戶上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園超越摩爾研發(fā)中試線，打造基于壓電材料的MEMS先進(jìn)工藝平臺。該平臺將由國家智能傳感器創(chuàng)新中心(簡稱“創(chuàng)新中心”)和上海微技術(shù)工業(yè)研究院共同建設(shè)，持續(xù)推進(jìn)智能傳感關(guān)鍵共性技術(shù)創(chuàng)新開發(fā)能力。

PZT薄膜壓電MEMS技術(shù)是智能傳感器領(lǐng)域的重要發(fā)展方向，是充滿技術(shù)多樣性和產(chǎn)業(yè)機(jī)會的藍(lán)海領(lǐng)域。創(chuàng)新中心的量產(chǎn)型PZT壓電薄膜沉積設(shè)備可以實現(xiàn)8英寸晶圓上單晶體PZT薄膜的高質(zhì)量生長，成膜溫度低(<500℃)，可以滿足CMOS傳感控制電路與MEMS兼容集成制造需求，是與Bosch、Silex等國際主流傳感器生產(chǎn)廠商保持同步的先進(jìn)裝備。新型壓電MEMS光學(xué)、聲學(xué)、慣性、微流控等產(chǎn)品，在自動駕駛、消費(fèi)電子、光通信、醫(yī)療康養(yǎng)、工業(yè)控制等AIoT領(lǐng)域具有廣泛而重要的應(yīng)用前景。

本次入駐的PZT壓電薄膜沉積設(shè)備來自ULVAC，以及來自O(shè)xford Instrument的PZT薄膜刻蝕設(shè)備。創(chuàng)新中心持續(xù)穩(wěn)步推進(jìn)包括設(shè)計、仿真、材料、加工、測試等環(huán)節(jié)的高端MEMS工藝平臺能力建設(shè)，快速形成一系列相關(guān)特色技術(shù)模塊和工藝能力，將與產(chǎn)業(yè)鏈上下游共同打造基于壓電薄膜材料的MEMS新器件開發(fā)、新原理探索、新應(yīng)用驗證的技術(shù)平臺，為國內(nèi)外相關(guān)技術(shù)和產(chǎn)品開發(fā)提供平臺支撐服務(wù)，也將為無鉛壓電材料的薄膜化以及在MEMS方向的應(yīng)用探索和技術(shù)開發(fā)提供平臺支持。

國家智能傳感器創(chuàng)新中心致力于先進(jìn)傳感器技術(shù)創(chuàng)新，以關(guān)鍵共性技術(shù)的研發(fā)和中試為目標(biāo)，聯(lián)合傳感器上下游及產(chǎn)業(yè)鏈龍頭企業(yè)開展共性技術(shù)研發(fā)，形成“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新機(jī)制，打造世界級智能傳感器創(chuàng)新中心。依托中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟已有近1000家產(chǎn)業(yè)鏈各領(lǐng)域的代表企業(yè)，發(fā)揮產(chǎn)學(xué)研資源優(yōu)勢，加速我國物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)的發(fā)展，推動智能傳感、大數(shù)據(jù)、人工智能的生態(tài)體系建設(shè)。